世纪70年代，美国、德国、西班牙、法国、意大利、日本、以色列等发达国家开始了太阳能热发电技术的研究，并建立了一系列的各种形式的示范电站。不过在整个20世纪，除了槽式之外，其他形式的太阳能热发电技术均处于研究及示范阶段，未有规模化的商业电站建成运行。
　　最典型的槽式太阳能热发电系统是上世纪80年代，在美国加州建造的9座槽式太阳能热电站SEGS，总发电功率达到354MW，投资12亿美元，这是迄今为止最早实现大型商业化运行的太阳能热电站。
　　位于西班牙的AndasolI是欧洲第一座大型槽式商业化电站，由德国SolarMillennium公司和ACS/Cobra合作开发建设。该电站采用熔融盐蓄热，可以满负荷运行7.5小时。该电站已于2008年底投入试运行，上网电价为21欧分/kWh。
　　美国和西班牙是建造塔式太阳能热电站较早的国家，国外已经建成的主要塔式电站如2007年3月西班牙建造的PS10投入商业运行，该项目发电功率为11MW。
　　近几年，随着全球气候环境和能源问题的日益严峻，太阳能热发电技术因其具有替代常规火电站的规模化潜能及成本下降的充分可行性，已进入全世界太阳能热利用的热点领域。
　　中国对太阳能热发电技术的研究起步较晚，美国加州SEGS槽式太阳能热发电站的成功运行引起了中国的广泛关注，并曾计划引进该类机组在西藏拉萨建立一座槽式太阳能热发电站。国家“八五”计划也安排了小型部件和材料的攻关项目。
　　目前，中国对太阳能热发电技术的研究给予了相当大的重视，国家在“十一五”计划中安排了上亿资金以开发太阳能热发电技术。中国科学院工程热物理研究所和电工研究所进行了一些部件和材料的研究。目前，中科院电工研究所建立了一套1MW塔式太阳能热发电系统，正在进行实验研究。
　　近年来，随着一些有研究开发实力的工程技术公司的加入，中国在太阳能热发电领域的研究取得到了可喜的进展。北京通用航空设备有限公司、北京康拓科技、德州华园新能源、东莞康达机电等都正在加紧研发具有自主知识产权的关键技术。